Pracovná teória：

Predbežným prečerpaním pece do vákua a následným ohrevom na nastavenú teplotu sa nafúkne amoniak pre nitridačný proces, potom sa po niekoľkých cykloch opäť prečerpá a nafúkne, aby sa dosiahla cieľová hĺbka nitridu.

Výhody:

V porovnaní s tradičnou plynovou nitridáciou. Vďaka aktívnemu pôsobeniu na kovový povrch pri vákuovom ohrevu má vákuová nitridácia lepšiu adsorpčnú kapacitu, čo umožňuje kratší čas procesu a vyššiu tvrdosť.presnýkontrola, nižšia spotreba plynu, hustejšia vrstva bielej zmesi.